德玛特直驱涂布平台，采用大理石基座，稳定性高，直线度好，双向重复定位精度低至0.8μm，滑台跳动精度小于4μm。

大理石涂布平台

单位

性能参数

有效行程

mm

600

编码器类型

 -

增量式光栅

编码器分辨率

μm

0.5

重复定位精度

μm

±1

实际负载

kg

5

空载运动质量

kg

85

速度

m/s

0.1