德玛特超大气浮运动，台面尺寸达到1.5m×1m，国内直驱最大尺寸的纠偏平台之一，运动直线精度高，速度波动小，可达2m/s，重复定位精度可达±0.5um。
应用：编码器精度误差检验，大尺寸精密加工纠偏（如半导体晶圆、大尺寸显示屏等制造设备）。
技术参数：
德玛特超大气浮运动，台面尺寸达到1.5m×1m，国内直驱最大尺寸的纠偏平台之一，运动直线精度高，速度波动小，可达2m/s，重复定位精度可达±0.5um。
应用：编码器精度误差检验，大尺寸精密加工纠偏（如半导体晶圆、大尺寸显示屏等制造设备）。
技术参数：
