用于晶圆纠偏的直驱旋转平台。高精度，重复定位精度±3角秒，轴向跳动与径向跳动均为5μm。这种弧形设计，模块化与灵活性高，可以通过拼接多个扇段来实现不同的运动范围；采用无铁芯设计，结构紧凑，重量轻且厚度薄，总重量仅为5.19kg。