高精度气浮旋转平台，采用德玛特零齿槽力直驱电机，选用气浮轴承，端径跳低至70nm，重复定位精度高达±0.75"。体积小，精度高。可以用于各种超高精度工作场景，像半导体行业划片、晶圆检测等。