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半导体晶圆减薄机直驱方案 德玛特控制系统+气浮转台

由于减薄机对转台精度、速度稳定性、端径跳都提出了极高要求，因此，德玛特气浮转台airUPRT成为上佳之选。airUPRT转台重复精度为±1μm，端跳低至70纳米，径跳达到100纳米，且具有超低速度波动性。此外，德玛特还提供全套的减薄机系统解决方案，包含驱动器和软件系统。

08月03日

半导体精密制造检测方案 德玛特气浮旋转和直线平台

德玛特气浮系列，具有高精度，高稳定性特点。对于旋转类检测，如探针台、对位转台，有气浮旋转平台，对于直线类检测，有气浮直线平台。气浮直线平台airDDLP系列，直线度±0.25~±4μm，重复精度低至±2μm。适合满足晶圆检测、高精度计量、X 射线衍射系统、光学检测和制造以及 MEMS/纳米技术器件制造的严格要求。

08月02日

德玛特超⼤尺⼨⽓浮纠偏平台

德玛特超大气浮运动，台面尺寸达到1.5m×1m，国内直驱最大尺寸的纠偏平台之一，运动直线精度高，速度波动小，可达2m/s，重复定位精度可达±0.5um。应用：编码器精度误差检验，大尺寸精密加工纠偏（如半导体晶圆、大尺寸显示屏等制造设备）。

12月29日

[多图] 半导体行业中适用的德玛特直驱产品

09月01日 直驱电机 直线电机 DD马达 半导体

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德玛特短行程高速应用新产品直线执行器DO系列

06月01日

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德玛特推出新款音圈电机/薄型电机模组TH系列 实现超短行程的线性高精度控制

03月18日 音圈电机 薄型电机

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德玛特无槽DD马达，高精度无齿槽效应

采用德玛特无槽直驱电机技术设计，无齿槽效应，“无”转矩脉动，可以实现极其平滑的速度控制。 可以实现高精度和高重复精度的位置控制；无框设计，高功率密度，占用空间更小；大通孔便于通过电缆、光学器件、感测技术及其他系统元件……

11月19日

德玛特直驱XY加工平台

德玛特直驱XY加工平台，在动力传动系统中未使用机械零件，其可直接将驱动力传输至运动平台，且无摩擦，可实现高速度和高加速度的快速加工。

11月19日

德玛特高精度直驱XY气浮平台

​德玛特双导轨XY直线模组平台，采用德玛特高精度无铁芯直线电机模组组成，具有良好的刚性性能以及良好的定位精度，此外还有高速度，高加速度，零背隙，使用寿命长，维护成本低等一系列优点……

11月19日

德玛特高动态响应直驱转台HD140

德玛特直驱转台HD140具有高精度、高动态响应的特点，适合高加工精度、高加工速度、小角度分度需求的场景，高度模块化设计，维护简单，稳定性强。

11月10日