全静压直驱转台(工作台面直径1米6) 全静压直驱转台,工作台面直径1米6。全静压轴承,直驱同步转台电机,端径跳精度高达1μm,精度稳定性好。大扭矩、高速度、重负载,峰值扭矩24000Nm,主轴状态转速最高能达到460rpm,最大承重8t。 05月09日
德玛特直驱旋转平台DDV080 台面直径仅80mm,中空为20mm;高精度,重复精度±2";最大转矩可达3.42Nm;最高转速可达240rpm。常用于轻载、对空间要求苛刻的半导体、3C、医疗设备制造等行业。 05月08日
纠偏旋转平台DDA210 薄型高动态响应直驱电机,主要是用于电子检测设备、精密定位平台和纠偏平台。高精度,速度波动小,重复精度达到了±1",定位精度为±2",端径跳也是微米级。超大中空尺寸设计为复杂系统集成提供无限可能。 05月08日
高精度三轴对位纠偏平台 专为高精度、小尺寸材料对位需求设计的mini版对位纠偏平台,机身高仅52mm,长宽仅65mm。结构紧凑、轻量化设计;高精度、高动态响应。直线轴重复精度±0.5μm,旋转轴重复精度±1.3"。全自由度精密调整,能完成各种精细纠偏任务。 05月08日
五轴光机 高精度五轴光机,基座为大理石材质,核心零件采用进口印度石,精度稳定性好。全闭环控制,XY轴采用直驱电机,Z轴采用伺服电机,且Z轴额外配置一条光栅尺。高精度,直线轴直线度5μm,旋转轴重复定位精度±2角秒。使用高精度光栅尺,直线轴光栅尺精度±3μm;且光栅尺为封闭式设计,可有效防尘防水。五轴光机作为高精度加工设备,其主要特点是采用激光作为加工工具。为此,我们的这款光机Y轴使用了钢片式风琴罩,能有效避免切割碎屑对设备造成的损害,从而延长设备使用寿命。 05月08日
德玛特直驱数控转台RTCW310 德玛特RTCW系列水冷/自冷立卧两用直驱数控转台,可用于磨刀机、立式车床等机床第四轴。防水性能IP67,精度±5角秒,重复精度±2角秒。 09月06日 数控机床转台 四轴机床转台
半导体晶圆减薄机直驱方案 德玛特控制系统+气浮转台 由于减薄机对转台精度、速度稳定性、端径跳都提出了极高要求,因此,德玛特气浮转台airUPRT成为上佳之选。airUPRT转台重复精度为±1μm,端跳低至70纳米,径跳达到100纳米,且具有超低速度波动性。此外,德玛特还提供全套的减薄机系统解决方案,包含驱动器和软件系统。 08月03日
高精度直驱二维转台解决方案 德玛特双臂五轴摇篮RTMD系列 德玛特数控五轴摇篮转台的新应用——高精度直驱二维转台,可发挥直驱摇篮全数控、高速度、大扭矩、长寿命的优点,实现目标的高精度追踪和扫描。 08月02日
半导体精密制造检测方案 德玛特气浮旋转和直线平台 德玛特气浮系列,具有高精度,高稳定性特点。对于旋转类检测,如探针台、对位转台,有气浮旋转平台,对于直线类检测,有气浮直线平台。气浮直线平台airDDLP系列,直线度±0.25~±4μm,重复精度低至±2μm。适合满足晶圆检测、高精度计量、X 射线衍射系统、光学检测和制造以及 MEMS/纳米技术器件制造的严格要求。 08月02日