高转速直驱旋转平台DDV110

高速运行直线模组

音圈电机模组(恒力测微仪)

Z轴直线电机

直线模组LHA140-L11940

ZR轴执行器

直驱旋转平台(晶圆纠偏)

全静压直驱转台(工作台面直径1米6)

XZ堆叠直线模组(压爪)

德玛特直驱旋转平台DDV080