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气浮直线大理石平台,主要用于精密检测,行程2m,最大速度可达2m/s,在长行程下依然能保持高精度,重复精度达到±0.6um,使之在高精度要求的行业具有广泛的应用前景。例如在半导体行业适用于晶圆检测;在医疗器械制造中,可以让零部件尺寸达到非常高的精度,表面光洁度好;在航空航天领域,要求机床具有高速加工和高精度定位能力,以满足轻量化和结构优化的需求。
主要优点:
以空气作为润滑介质,运动部件没有机械接触、无机械摩擦;
使用花岗岩大理石作为底座,极高的刚性和出色的几何特性,能保持优秀的稳定性,直线度和重复精度;
使用静音型气浮导轨,独有的小孔节流技术,解决在高压问题上的气锤效应及微观波动;
在气膜的均化效应下,可以达到非常出色的直线度;
膜厚度几乎不受速度的影响,即使在很低的速度下也不发生蠕变,运动稳定。

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