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气浮纠偏平台

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超大尺寸气浮纠偏平台，台面尺寸1.5m×1m，国内直驱最大尺寸的纠偏平台之一。运动直线精度高，速度波动小，可达2m/s，重复定位精度可达±0.5um。应用于编码器精度误差检验，大尺寸精密加工纠偏（如半导体晶圆、大尺寸显示屏等制造设备）。

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