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大理石激光切割平台
超高动态响应，高精度，运行平稳，高效率，三轴运行。
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激光切割大理石平台，龙门双驱结构，三轴运行，无铁芯直线电机配置，零磁阻，运行平稳，超高动态响应；高精度，三轴重复精度均达到±2.5μm；铝梁设计，高加速度，最大加速度可达2G。可以用于半导体晶圆切片、液晶屏切割、硅晶片激光划片等高精度激光切割加工需求场合。


大理石激光切割平台


       

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