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五轴晶圆搬运平台
高搬运速度，超高直线精度，可定制取放方式，适应多规格晶圆搬运。
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高搬运速度，超高直线精度，可定制取放方式，适应多规格晶圆搬运。

适用于大气环境下的半导体晶圆高速搬运、各类半导体智能设备（EFEM、涂胶显影设备、清洗设备、减薄设备、检测设备、封装测试设备等）。


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