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高精度大推力Z轴直线电机。直线度5μm,重复精度0.3μm,定位精度6μm;小行程大推力,有效行程30mm,最大推力692.4Nm,额定负载13kg。气缸让气压的力抵消下坠重力,从而使电机达到运动平衡。
适合半导体行业的点胶机、贴片机等对精度有高要求的设备,广泛用于半导体检测,3c电子零部件加工,激光切割等等。
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